物理气相沉积(PhysicalVapor Deposition,PVD):
PVD技术——在真空条件下采用物理方法,将材料源--固体、液体或气体,气化成气态原子、分子或部分电离成离子,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,及分子束外延等。
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